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BASIS系列OEM氣體質量流量控制器

價  格：詢價

產  地：更新時間：2021-03-29 17:21

品  牌：其他型  號：

狀  態(tài)：正常點擊量：1633

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上海非利加實業(yè)有限公司

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產品參數(shù)

性能

  • 可用量程：0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm（參見零件編號標簽）

  • 可調比：200:1（1/20和50 slpm）或100:1（100 sccm）

  • 校準精度（NIST可溯源）：±（1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程）

  • 可重復性：0.5%滿量程

  • 標準控制器響應時間常數(shù)：100ms（可利用PID調節(jié)功能調節(jié)）

  • 預熱時間：70ms，達到完整精度

工作條件

  • 兼容氣體：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮（可通過串行連接選擇氣體）；訂購時還可以選擇氦氣或氫氣校準（僅使用一種氣體）

  • 工作溫度：0°C至+50°C

  • 大內部壓力（靜態(tài)）：對于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig（160 psia）；對于0-20和0-50 slpm量程—60 psig（75 psia）

  • 耐受壓力：175 psig（190 psia）

  • STP： 25°C & 1 atm（14.696 psia）



產品介紹




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