系統(tǒng)配置:
· 型號(hào):SR300
· 探測(cè)器: 2048像素的CCD線陣列
· 光源:高穩(wěn)定性、長(zhǎng)壽命的鹵素?zé)?/span>
· 光傳送方式:光纖
· 臺(tái)架平臺(tái):特殊處理鋁合金,能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量、200mmx200mm的大小
· 通訊接口:USB的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連
· 測(cè)量類(lèi)型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
· 電腦硬件要求:P3以上、50 MB的空間
· 電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
· 保修:***年的整機(jī)及零備件保修
規(guī)格:
· 波長(zhǎng)范圍:400到1100 nm
· 光斑尺寸:500μm至5mm
· 樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
· 基板尺寸:*多可至50毫米厚
· 測(cè)量厚度范圍*:20nm〜50μm
· 測(cè)量時(shí)間:*快2毫秒
· 精確度*:優(yōu)于0.5%(通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù),讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較)
· 重復(fù)性誤差*:小于1 Ǻ