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光學(xué)NanoGauge C10178-02
價(jià) 格:詢價(jià)
產(chǎn) 地:更新時(shí)間:2020-12-15 10:28
品 牌:其他型 號(hào): C10178-02
狀 態(tài):正常點(diǎn)擊量:1981
上海非利加實(shí)業(yè)有限公司
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產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品介紹
詳細(xì)參數(shù)
*1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5
*2 測(cè)量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)
*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)
*4 測(cè)量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件***致
*5 ***短曝光時(shí)間產(chǎn)品特性
● 高速、高準(zhǔn)確性(可測(cè)膜厚范圍(玻璃):20 nm-30μm)
● 實(shí)時(shí)測(cè)量
● 非恒定膜層的精確測(cè)量
● 分析光學(xué)常量(n, k)
● 可外部控制
● 可以使用特定附件測(cè)量量子產(chǎn)率,反射率,透射率和吸收率
外形尺寸(單位:mm)
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
C10178型光學(xué)納米膜厚測(cè)量系統(tǒng)是***款利用光譜干涉法測(cè)量薄膜厚度的非接觸式測(cè)量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測(cè)量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測(cè)器,測(cè)量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時(shí)還可以測(cè)量量子產(chǎn)率,反射率,透射/吸收率等參數(shù)。
C10178-02支持UV(200 nm至950 nm)。
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